濕式靜電除塵過程可分為四個階段：氣體的電離、粉塵獲得離子而荷電、荷電粉塵向電極移動、將電極上的粉塵清除。將水霧噴向放電極和電暈區，水霧在芒刺電極形成的強大的電暈場內荷電后分 裂進一步霧化，電場力、荷電水霧的碰撞攔截、吸附凝并，共同對粉塵粒子起捕集作用，粉塵粒子在電場力的驅動下到達集塵極而被捕獲。水在集塵極上形成連續的水膜，將捕獲的粉塵沖刷到灰斗中隨水排出。
濕式除塵技術指標：
濕式靜電除塵器在入口粉塵為30mg/Nm3的條件下，出口可以達到5mg/m3以下，除塵效率達87.5%，實現了真正意義上的超低排放。
